Pompe à vide sèche multicellulaire Ebara ESR20N, vitesse de pompage de 45 à 70 CFM (1300 - 2000 l/m), processus propres à moyens, refroidie à l'eau, triphasée, 200-220 V, 60 Hz.
Numéro de pièce Ebara : 202093. La série Ebara ESR (Energy Saving Roots) sont des pompes à vide sèches multicellulaires conçues pour des applications allant des processus propres aux processus moyens. La série Ebara ESR couvre une large vitesse de pompage de 45 à 706 CFM avec une pression ultime aussi basse que 1,5 mTorr. Cette liste concerne la vente de la pompe à vide sèche multicellulaire Ebara ESR20N, 120cfm 2000l/m, processus propres à moyens, refroidie à l'eau, 200-220V / 3Ph, PN : 202093.
Applications
- Pulvérisation
- PVD
- Verrouillage et transfert de charge
- Cendrement
- Implantateur d'ions
- Graver
- Gaz et procédés propres
Avantages et caractéristiques des pompes à lobes rotatifs secs de la série Ebara EV-A.
- Faible coût de possession [électricité, N2, eau, empreinte, volume, poids]
- Aucune purge à l'azote requise pour l'ESR20N dans les applications propres
- Vitesse de pompage variable pour répondre aux exigences de l'application
- Moteurs CC sans balais hautes performances
- Appareils de contrôle et de surveillance de pointe
- Le mode veille peut être utilisé pour accroître les économies de services publics
- Évalué SEMI S2, répertorié NRTL, marqué CE